電子氣體
            Silane 硅烷6N


             Silane 硅烷 (SiH4)

            Total Purity 純度:>99.9999%

            Vapor Phase Impurities

            氣相雜質(zhì)

            Contaminants

            雜質(zhì)

             

            Specifications (ppmv)

            規(guī)格

            Ar

            Argon 氬氣

            <0.05

            Total Chlorosilane

            Total Chlorosilane 總氯硅烷

            <0.15

            Disilane

            Disilane 乙硅烷

            <0.5

            He

            Helium 氦氣

            <1

            O2

            Oxygen 氧氣

            <0.05

            N2

            Nitrogen 氮?dú)?/span>

            <1

            H2

            Hydrogen 氫氣

            <20

            CO

            Carbon Monoxide 一氧化碳

            <0.05

            CO2

            Carbon Dioxide 二氧化碳

            <0.05

            CH4

            Methane 甲烷

            <0.05

            Carbon

            Carbon 

            <0.2 ppma

            Disiloxane

            Disiloxane 二硅氧烷

            <0.5

            Methylsilane

            Methylsilane 甲基硅烷

            <0.5

            Al

            Aluminium 

            <0.005 ppba

            Sb

            Antimony 

            <0.005 ppba

            As

            Arsenic 

            <0.005 ppba

            B

            Boron 

            <0.02 ppba

            Ca

            Calcium 

            <10 ppba

            Ga

            Gallium 

            <0.005 ppba

            In

            Indium 

            <0.005 ppba

            P

            Phosphorus 

            <0.02 ppba

            K

            Potassium 

            <10 ppba

            Na

            Sodium 

            <5 ppba

            Cr+Cu+Fe+Ni+Zn

            ++++

            <1 ppba

            H2O

            Moisture 

            <0.5

            Resistivity

            Resistivity 電阻系數(shù)

            >10000 ohm-cm

             

            Standard Package Information

            包裝規(guī)格

            Cylinder Type氣瓶規(guī)格

            47?,  Ton-cylinder,  20ft ISO-Container,  40ft ISO-Container

            Fill Weight充裝量 (kg)

            10,    100 ,          2000 ,               4000

            Valve Connection 閥門(mén)(CGA)

            JIS 22L,  CGA 632,  CGA350

             



            服務(wù)熱線(xiàn):13961886798

            < >
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